当前位置：首页 » 鑫蓝资讯 » 鑫蓝动态 » 为什么半导体车间都会安装废气处理设备

为什么半导体车间都会安装废气处理设备

文章出处：鑫蓝环保鑫蓝动态网责任编辑：小蔡作者：小蔡人气：-发表时间：2022-04-28 00:00:00【大中小】

为什么半导体车间都会安装废气处理设备，因为半导体制造过程中使用的气体大多具有可燃性、自燃性、腐蚀性等特性，尤其是在晶圆厂制造车间中的废气流通常含有腐蚀性和VOCS有机废气等，在排放到大气之前通过废气处理设备去除这些气体。这需要在大多数半导体厂制造车间中使用专门用于管理和处理工艺废气流的设备。因此我们鑫蓝提出安全可靠的废气处理装置以及RTO蓄热式焚烧设备，能够对这些气体进行有效处理。

半导体车间废气处理设备选择标准：

(1)半导体生产车间废气处理设备的选择是根据待消除气体的种类、浓度、流量和压力，减排设备的处理能力，综合考虑农药的寿命、前后与设备的关系等多种情况，挑选合适的处理方法和设备。

(2)半导体生产车间废气处理设备在混合时将会爆炸、起火或造成有害物的气体处理应该是一个独立的系统。
(3)可能有自燃性气体或可燃气体流动的排风管道采用不燃材料。

(4)不可以让半导体生产车间废气处理设备规格中规定的废气以外的废气流动，或准许大量废气流动超出废气处理设备的处理水平。

鑫蓝环保作为一家废气处理设备一站式解决服务商，依托工程大学环保技术支持，拥有设备制造厂和熟练安装队伍；客户超过上千家，涵盖大型焊烟打磨行业、橡胶行业、涂料油墨行业、家居建材行业、PCB电子行业、汽车行业、家电行业、化工行业、新能源锂电池行业、航空航天新材料行业和医疗行业等领域；先后获得了江苏省环境污染乙级设计资质、江苏省环境污染乙级治理资质、质量管理体系认证、职业健康安全管理体系认证、江苏省优秀科技企业、苏州市市级守合同重信用企业等荣誉称号。